近日在中芯能源科技（上海）有限公司和北京七星华创电子股份有限公司双方技术人员的共同努力下，由北京七星华创所生产的具有国内自主知识产权的程控扩散炉设备和PECVD设备在中芯能源科技顺利通过验收。
这两项设备由北京七星华创特别针对太阳能电池片生产线而设计。尤其是所生产的PECVD设备填补了国内空白，扭转了国内太阳能电池片生产线上PECVD全部进口的局面。
受到中芯能源科技一致赞誉的PECVD设备主要用于在156mm×156mm方片上淀积Si3N4薄膜工艺，是太阳能电池生产线上的关键设备，该设备由炉体机柜、升降工作台、电气控制柜、气路系统、真空系统、石英管反应室、装片舟、压力控制系统和RF电源等组成。采用工作站实行了全自动控制；并具有高精度的压力控制系统。通过该设备在单/多晶硅基底上所生长的减反射膜，在片内、片间和批间的均匀性和一致性都达到了国际同类产品水平。
（源自：厂商稿件）
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