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日本产综研利用MEMS技术实现静电传感器的小型化
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贵州雅光研制出MEMS磁敏传感器
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MEMS传感器技术应用领域将继续扩展
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村田制作所用高精度加速度传感器测量心率
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东芝提供带色彩降噪的CMOS图像传感器
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