ERS electronic全面升级翘曲矫正设备WAT330_业界新闻

ERS electronic全面升级翘曲矫正设备WAT330

2022-11-16 16:10 全球TMT

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（全球TMT2022年11月16日讯）半导体制造业提供温度管理解决方案的企业——ERS electronic 对其翘曲矫正设备WAT330进行了全面升级，使其具备更强大的翘曲测量和矫正功能。晶圆级封装（FoWLP）是先进封装最为突出的技术之一。

ERS electronic全面升级翘曲矫正设备WAT3300

升级后的WAT330配备了HEPA过滤系统，洁净室等级100。该机器也符合SEMI GEM300标准，并配有全自动产品装卸。另一个值得注意的升级是机器的氮气环境，含氧量低至0.5%，以避免铜的氧化。全新的WAT330还搭载了强真空温度卡盘，以实现零故障处理晶圆。该机器目前已接受预定。

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