中芯国际与ASML签订12亿美元大单：除了EUV 所有光刻机都能买

近日美国宣布，允许部分美国供应商对我国芯片巨头——中芯国际继续供货！就在美国同意放行的关键时刻，中芯国际公布了一则消息。

3月3日晚间，中芯国际披露，公司于2月1日与阿斯麦（ASML）上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，将采购协议的期限延长一年至2021年12月31日。根据批量采购协议，公司已就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品（即光刻机）与阿斯麦集团签订购买单，订单金额12亿美元。

阿斯麦（ASML）即荷兰阿斯麦，是全球最大的半导体设备制造商之一，主要业务为光刻机的研发和生产，在全球处于绝对领先地位。具体来看，ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额；在EUV（极紫外）光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率100%。

目前，ASML的EUV光刻机主力出货型号是3400B，价格约1.2亿美元，其最新款的3600D定于2021年中旬出货交付。

据悉，这批订单是中芯国际在2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间，找阿斯麦集团采购的设备产品。不过，中芯国际没有公开购买产品的型号以及数量。

由于美国在一旁阻挠，中芯国际无法获得阿斯麦EUV光刻机的事情已是人尽皆知。

是否包含EUV光刻机？

众所周知，EUV光刻机是生产5nm芯片必不可缺的设备。那么，中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机，包含EUV光刻机吗？

记者从业内资深人士处了解到，除了EUV光刻机，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV（深紫外）光刻机。

此前，ASML的CFO在财报会议的视频采访中表示：如果宽泛地理解相关规则对AMSL的整体意义，ASML将能够从荷兰向中国客户（包括中芯国际）提供DUV光刻系统，且无需出口许可证。不过，如果涉及直接从美国运往此类客户的零件或系统，ASML则需要为此申请出口许可证。

在DUV光刻机方面，ASML的最新一代产品型号是NXT 2050i。公开资料显示，ASML于2020年第三季度对第一台TWINSCAN NXT 2050i进行了质量认证，并于第四季度初发货。由于对掩模版工作台、晶圆工作台、投影物镜和曝光激光器的技术改进，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生产率。

公开报道显示，ASML的上一代DUV产品NXT2000i光刻机，光刻精度可以达到1.9nm，远低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。

第一季度营收预计超10亿美元

在近期接受机构调研时，中芯国际联合首席执行官赵海军表示，目前公司依然是满载运营，预计今年第一季度营收会回到10亿美元以上。

此前，中芯国际预计，2021年全年营收成长在中到高个位数。

产能紧缺已经成为半导体业内共识。赵海军表示，公司会继续扩产，预计12英寸月产能增加1万片， 8英寸月产能增加不少于4.5万片，但由于设备采购周期长，预计扩产产能对今年营收贡献不大。

此外，在先进制程方面，赵海军强调，公司将保障生产连续性，继续与供应商推进出口许可证的申请；也会考虑加强第一代、第二代FinFET多元平台开发的布建，并拓展平台的可靠性及竞争力。