尽管中国的MEMS产业面临良好的发展机遇，但不容忽视的是，与国外MEMS产业界相比，目前国内MEMS产业的发展存在以下问题：
1、缺乏MEMS产业链的支持。国内要发展MEMS产业，则必须要象半导体产业那样建立从器件模型、模拟工具、制造加工到封装测试等完整产业链的支持。虽然目前国内有发展MEMS产业链良好的工业基础，但是由于代工厂以及封装厂对新兴MEMS产业的陌生，并没有开展相关MEMS业务。此外，代工厂以及封装厂也缺乏相关技术来源。上述因素导致中国在MEMS产业链方面的建设基本处于空白状态。
2、缺乏高端研发人员，与欧美发达国家相比，我们的研发水平相对较低，从基础研究上就处于落后地位；亦缺乏经验丰富的本土MEMS工程师，导致产业化难度较大。
3、没有MEMS产业的工业积累，国内一些科研院所普遍仍处于摸索状态，基本集中于某些不计成本、满足特定目的、小批量的特种MEMS传感器制造，如国防应用。
4、国内创业环境较差，对很多MEMS初创公司来说较难募集到资金。
由于存在上述发展障碍，国内外的MEMS技术差距正在不断增大。目前国内绝大部分MEMS公司的技术能力只能达到压力传感器的初级水平，惟有苏州敏芯微电子技术有限公司（以下简称“敏芯”）在技术难度更高的硅麦克风领域取得了突破，技术能力已达到国际先进水平。而与之相对的是，国外公司已经在技术难度相对较高的领域不断突破，如微投影仪、单芯片相机、微型燃料电池、硅振荡器等等。
如果不及时对国内的MEMS产业实施扶持，则日后MEMS产业大有可能步半导体产业的后尘，陷入竞争力不强、回报率太低的恶性循环。具体而言，MEMS做为一个新兴技术，其研发周期较长且资金投入巨大。中国如果不能及时跟上国外研发步伐，随着时间推移，即使中国在以后掌握了某些核心技术，但是届时可能又落入了知识产权的陷阱。类似于高通公司垄断CDMA市场的案例，在一些大的MEMS市场，国外大公司事实上已经形成了技术以及知识产权的垄断，如德州仪器公司垄断了DLP（数字投影仪）市场，惠普等企业垄断了喷墨打印头市场等等。
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