至纯科技：打造关键制程设备及材料的核心供应商

作为半导体产业高纯工艺系统集成商，至纯科技2017年相继竞得华力微、中芯国际、合肥睿力(长鑫)、长江存储、南京台积电、SK海力士无锡等用户新建的12英寸产线建设的订单，从而进一步确立了公司在行业内的地位。2017年，公司营收达3.69亿元(全部是高纯工艺集成系统收入)，较2016年增长40.18%，其中半导体行业的营收达2.1亿元，较2016年成长59.92%。

至纯科技相关人士介绍，公司于2015年就开始启动湿法设备的研发项目，通过结构优化和工艺延伸，果断投入开发和高纯化学品息息相关的清洗机研发和制造，积极投身本土集成电路设备事业。通过与国家重点院校和实验室积极对接，2016年成立院士工作站，针对用户在生产和研发过程中提出的特殊需要开展相关的研发工作，相关的研发项目均是针对公司核心业务，围绕高纯工艺与湿法清洗设备，目前均在稳定推进中；2017年，公司成立独立的半导体湿法事业部(子公司至微半导体，品牌ULTRON)，致力打造高端湿法设备制造开发平台，丰富半导体设备领域的产销体系。

公司主要的产品如下：一、湿法设备。公司已经形成了Ultron B200和Ultron B300的槽式湿法清洗设备、Ultron S200 和Ultron S300的单片式湿法清洗设备产品系列，并已经取得批量订单。二、高纯工艺系统：特气气瓶柜、高纯化学品送液柜及相关系统集成。

至纯科技在半导体的高纯工艺领域耕耘10多年，高纯工艺系统中应用大量的特气柜、化学品送液柜、化学品调配柜等，是直接和良率息息相关的关键支持(设备)系统，是和工艺机台联为整体的附属设备(非辅助设备)。公司已经于2007年开始陆续将各类高纯特气系统的气体设备和高纯电子化学品系统的送液设备完全国产化。至纯科技为华力微、中芯国际、合肥睿力(长鑫)、长江存储、合肥晶合、台积电南京、SK海力士无锡、华润上华、士兰微等一线用户提供高纯工艺系统相关的产品和服务。

至纯科技确立了以高纯工艺技术为核心，逐步提升工艺系统中关键制程设备、工艺生产耗材及核心部件、关键生产环节专业服务及智能生产系统等核心要素的自研、自产比例的发展战略。

至纯科技着力实现企业从高纯工艺系统集成服务商升级为工艺装备及材料核心供应商，并积极向部分战略新兴下游产业链延伸的战略目标。(高原)