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光刻胶 半导体核心技术材料成功实现国产

核心提示: 大家听多了光刻机、蚀刻机以及nm工艺这样的术语,对光刻胶还是十分陌生的。买回来的硅圆片经过检查无破损后即可投入生产线上,前期可能还有各种成膜工艺,然后就进入到涂抹光刻胶环节。微影光刻工艺是一种图形影印技术,也是集成电路制造工艺中一项关键工艺。

大家听多了光刻机、蚀刻机以及nm工艺这样的术语,对光刻胶还是十分陌生的。买回来的硅圆片经过检查无破损后即可投入生产线上,前期可能还有各种成膜工艺,然后就进入到涂抹光刻胶环节。微影光刻工艺是一种图形影印技术,也是集成电路制造工艺中一项关键工艺。

首先将光刻胶(感光性树脂)滴在硅晶圆片上,通过高速旋转均匀涂抹成光刻胶薄膜,并施加以适当的温度固化光刻胶薄膜。

涂好了光刻胶才能进入光刻机进行曝光,让紫外线在光刻胶上生成掩膜中的电路图,必要的时候还要多重曝光,反复使用光刻胶,因此没有这一步电路是造不出来的。

光刻胶 半导体核心技术材料成功实现国产0

光刻胶是一种对光线、温度、湿度十分敏感的材料,可以在光照后发生化学性质的改变,这是整个工艺的基础。

光刻胶有不同的类型,PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、聚甲基戊二酰亚胺(PMGI)以及DNQ(酚醛树脂)等材料都可以做光刻胶。据有关资料显示,到2022年全球光刻胶市场市场价值将达到415亿美元,年复合增长率5.5%——算起来这个市场比光刻机产值还要大得多,毕竟光刻胶是耗材。

目前光刻胶市场上的参与者多是来自于美国、日本、韩国等国家,包括陶氏化学、杜邦、富士胶片、信越化学、住友化学、LG化学等等,中国公司在光刻胶领域也缺少核心技术。

今天科技日报报道称,圣泉公司历时26年研发的国产光刻胶——“光刻胶用线性酚醛树脂”国产化成功,打破了美国日本韩国等公司的垄断。

圣泉公司现在已经是亚洲最大的酚醛树脂公司,技术来源于1997年圣泉与英国海沃斯矿物及化学品有限公司达成的合作,引进了英国最先进的酚醛树脂生产技术,此后又引进了以原天津树脂厂总工李乃宁高工为首的一系列研发骨干。

2007年,与中科院化学所合作成立了“酚醛树脂技术研究中心”,引进并开发了包括火箭耐烧蚀材料在内的多个航天及军工项目;之后,建成了博士工作站,与多个院校开展了产学研合作;2011年,又引进了日本先进的环氧树脂生产技术,建成了国内最大的电子级特种环氧树脂车间。

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