科技部和中国电子材料行业协会在半导体中硅高科组织召开验收评审会。中硅高科承担的国家"十一五"科技支撑计划课题大型三氯氢硅合成、提纯工艺技术与关键装置研究、高效加压还原炉系统研究、大型低温加压四氯化硅氢化技术与装置研究三个课题和参与完成的多晶硅标准、专利体系建设与研究课题顺利通过验收评审。专家认为,这四项科技成果成功解决了规模化多晶硅生产中的瓶颈问题,填补国内空白,标志着我国多晶硅生产集成工艺技术又获新突破。
ZFA点评:
多晶硅对于洛阳行业就如同石油对于汽车业,如果多晶硅的生产工艺不行,就谈不上有半导体产业。因此,我国在多晶硅生产技术上的提高,使得半导体行业的发展有了可靠的保证。
中发网记者子鸿摘自网络