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丹东:为中国“芯”添动力

  集成电路产业被视为中国制造最后一块“短板”,半导体设备和原材料甚至要完全依靠进口。而在丹东,有这样一家企业“十年磨一剑”,研制生产的半导体专用设备填补了国内空白,广泛应用于半导体集成电路制造领域。3月20日,记者来到位于新区的丹东英普朗特科技有限公司,探秘丹东的“芯动力”。

丹东英普朗特科技有限公司创办于1998年10月,2004年6月与澳大利亚合资,是国内屈指可数的半导体设备专业厂家,曾荣获辽宁省高新技术企业和丹东市民营科技企业称号。多年来,公司与ST、IBS、NXP等世界知名企业建立良好的合作关系,始终追踪全球集成电路最新技术,建立了生产、开发、研究和检测的完整体系,产品包括离子注入机、蒸发机、溅射机等。2004年、2008年,企业分别承接国家科技型中小企业技术创新基金和国家“火炬计划”项目,产品获得了多项专利证书,通过了国内权威集成电路制造审核认证。

“现代生活人们每时每刻离不开半导体芯片,智能手机、电脑、二代身份证、银行卡、无人机,用的几乎全是‘外国芯’。”英普朗特科技有限公司董事长王玉泉介绍,我国的半导体芯片产业的设备、材料和工艺都需要进口。海关统计,2016年我国进口集成电路3425.5亿块,金额达到2270.7亿美元,是同期原油进口的两倍。中国每年消费的半导体芯片占全球出货总量的三分之一,“国产芯”份额不足7%。“半导体芯片制造是知识密集、技术密集的高科技产业,以我们公司为例,员工不到80人,科研人员占到了三分之一以上。”近年来,该公司依靠自主研发和联合研发“两条腿”走路,进口了精密生产和检测设备,采用严格的质量保证体系,实现了半导体专用设备从研发、生产、质检、清洗、包装到使用的全部国产化。

场地小、设备不足,长期制约着企业的发展。“想要打造中国智造、民族品牌,就要扩大企业规模。”为了解决发展难题,英普朗特科技有限公司与SK海力士半导体(中国)有限公司合作,投资建设集成电路成套装备及零部件项目。该项目总投资2.5亿元,规划用地98.12亩,投产后可年产离子注入机组件5000套、12英寸离子注入机20台(套)、CVD机50套、高密度等离子硅刻蚀机模组300套、蒸发设备零部件2000套、甩干设备零部件2000套,年产值5亿元。

  “最近两年,受益于政策拉动和市场驱动,中国半导体芯片产业高速发展。国内半导体材料和设备企业正在突破关键技术门槛,打破国外技术封锁。”王玉泉信心满满地表示,随着集成电路成套装备及零部件项目的建成达产,丹东必将为中国“芯”添加新动力!

    

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